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主要產(chǎn)品

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氟氮混合氣

發(fā)布時(shí)間：2023-05-13 | 游覽：4839

產(chǎn)品名稱氣體純度氣瓶規(guī)格閥門充裝量（Kg）保質(zhì)期
F2/N2（20%：80%）GB50LCGA6791.551年
GB50L*12CGA67918.61年
備注：可按客戶要求定制包裝規(guī)格


氟/氮 (F2/N2) 混合氣可對(duì)干法蝕刻過程中使用的工具進(jìn)行高級(jí)清潔。